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最火极高真空规之球栅型离子谱规

发布时间:2021-10-14 09:33:58 阅读: 来源:海绵厂家

极高真空规之球栅型离子谱规

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极高真空规之球栅型离子谱规来源:中国五金商机日期:环形灯丝发射的电子射入球形栅内,在球心附近形成一负空间电荷,电离产生的离子也聚集在球中心附近

环形灯丝发射的电子射入球形栅内,在球心附近形成一负空间电荷,电离产生的离子也聚集在球中心附近

       环形灯丝发射的电子射入球形栅内,在球心附近形成一负空间电荷,电离产生的离子也聚集在球中心附近,因此可占同期我国有色金属进口总量的25.67%使气相电离离子(处于球中央负电位处)与ESD离子(栅极表面产生的离子)之间的能量差达30eV,而在一般B-A规中两者的能量差仅为5eV~7eV.这么大的能量差更有利于分离开两类离子。从球栅空间拉出的离子进入一个由两个同心半球组成的偏转系统,偏转180°后到达收集极。偏转系统可以三维聚焦,是具有高分辨率的能量分析器,能有效地将能量差达30eV的两类离子分开,从而较彻底地去除ESD效应,同时也大大降低了X射线效应。此规的Px为2×10^-13 Pa,可测10 ^-12Pa的极高真空。

       此规的特点是结构精巧,它装在一直径100mm的双面法兰上,法兰采用铝合金制造。阴极为Th02 -Re丝,工作温度较低。球形栅极位于环形灯丝中央,由Pt(80%)-Ir(20%)合金制成,降低了吸附效应。热阴极球栅离子源被一铝合金制作的半球屏与偏转系统和收集极隔开,降低了热辐射对其它电极的影响。而在热阴极球栅离子源附近,是经过研磨抛光成镜面的铝合金半球屏,它具有低的发射率,吸附辐射热小,并有高的热传导率,几乎可维持在室温,大大降低了出气速率。这些措施使该规本身的出气速率小于2×10 ^-9Pa.L/s,相当于裸B-A规出气速率(约1.3×10^ -7Pa.L/s)的1%.

       当压力为10^ -8Pa,对球栅在700V、100mA下经1h电子轰击除气后,ESD效应几乎基本消除,这说明ESD效应的根源在于栅表面存在吸附分子层。研究者还证明热阴极的存在,并不是出气的主要原因,而有了电子发射才会引起大的出气,这是由于电子引起电子激励解吸和X射线引起的光解吸所致。“通过习主席来访

球该类实验机是现今万能材料实验机的主流产品栅型离子谱规是最近几年来出现的一种最有创新意义和最具实用价值的极高真空规。

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